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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:三路質(zhì)量流量計(jì)

    • 產(chǎn)品型號(hào):TN-3Z
    • 產(chǎn)品廠商:泰諾
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    產(chǎn)品特點(diǎn):1.選擇多種氣體方式;2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕;3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏。
    詳情介紹:

    ○ 適用范圍

    1.半導(dǎo)體制造業(yè)

    2.真空鍍膜設(shè)備

    3.特殊材料表面處理

    4.燃?xì)饪刂?

    5.泄漏檢測(cè)系統(tǒng)

    6.環(huán)境檢測(cè)分析設(shè)備

    7.化學(xué),石化,冶金,光纖等


    ○ 產(chǎn)品特點(diǎn)

    1.選擇多種氣體方式

    2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕

    3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏


    ○ 技術(shù)參數(shù)

    功能

    三路質(zhì)量流量計(jì)

    質(zhì)子流量控制器

    工作溫度:5~45 oC
    較大壓力: 3x106 Pa
    精度: ±1.5% FS
    重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
    流量范圍:
    一路: 0~100 SCCM
    二路: 1~199 SCCM 
    三路: 1~499 SCCM 
    注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

    輸入電源

    AC 220V/50Hz單相

    功率

    150W

    機(jī)械壓力表

    有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

    量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

    針閥

    316 不銹鋼

    通氣管道

    內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 

    外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

    混氣罐

    Φ80X120mm

    截止閥及配件

    316不銹鋼針閥 

    Φ1/4” 不銹鋼管

    外形尺寸

    600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

    質(zhì)量認(rèn)證

    CE認(rèn)證

    質(zhì)保期

    一年質(zhì)保期,終身維護(hù)


    ○ 免責(zé)聲明

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