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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:桌面單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)?

    • 產(chǎn)品型號:MSP180G-ALDC
    • 產(chǎn)品廠商:泰諾
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    桌面單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)?是一款實驗室制備材料薄膜的理想設(shè)備,該桌面單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)?配500W高性能直流電源,十分適合鍍鋁以及對空氣十分敏感的金屬材料。
    詳情介紹:

    桌面單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)經(jīng)過小型化設(shè)計,將設(shè)備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個高性能直流電源,具有煉靶功能,有效去除鋁靶表面的氧化層,十分適合鍍鋁等對空氣十分敏感的材料。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。


    名稱
    桌面單靶磁控濺射鍍膜儀(鍍鋁型)
    特點
    • 速度快溫升低
    • 高性能直流電源,具有煉靶功能,有效去除鋁靶表面的氧化層,十分適合鍍鋁等對空氣十分敏感的材料
    • 小型化設(shè)計,將設(shè)備外形限制在了桌面級別
    技術(shù)參數(shù)
    • 樣品臺: 直徑100mm,可加熱 *高溫度500℃,可旋轉(zhuǎn) 0-20rpm 可調(diào)
    • 磁控靶槍: 2 英寸圓形平面靶, 
    • 真空腔體: Φ180mm × H 215mm;高純石英; 觀察窗口 全向透明; 開啟方式 頂蓋拆卸式
    • 直流電源: 輸出功率 *大500W ,數(shù)量 1
    • 真空系統(tǒng) 
    1.  機(jī)械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S,抽氣接口 KF16 排氣接口 KF16
    2.  分子泵 渦輪分子泵 抽速 600L/s, 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF40
    3.  真空測量 電阻規(guī)+電離規(guī)
    4.  極限真空 1.0E-4Pa
    • 供電電壓:AC220V 50H 整機(jī)功率 2kw
    • 整機(jī)尺寸:550*350*500mm


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